发明名称 | 红外探测器用多工位真空排气装置 | ||
摘要 | 本专利公开了一种红外探测器用多工位真空排气装置,其包括主腔体、主腔体密封阀、分子泵、插板阀、旁抽阀、机械泵及前级阀。主腔体为整个真空排气装置的公共真空室,其圆周上分布多个外接接头,将公共室分为多个排气支路。主腔体公共真空室与泵组间有两个排气通道。所有阀门均为超高真空气动阀。装置的密封形式均为金属密封。该红外探测器用真空排气装置结构简单、易于拆装、工位数目多、真空度能达到较高水平、主腔体与工位的压强差小、选用的所有阀门和泵组均可自动化控制。 | ||
申请公布号 | CN203130430U | 申请公布日期 | 2013.08.14 |
申请号 | CN201320057943.9 | 申请日期 | 2013.01.31 |
申请人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明人 | 曹岚;张海燕;朱宪亮;庄馥隆;陆华杰;龚海梅 |
分类号 | F04B41/00(2006.01)I | 主分类号 | F04B41/00(2006.01)I |
代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人 | 郭英 |
主权项 | 一种红外探测器用多工位真空排气装置,其包括主腔体(1)、主腔体密封阀(2)、分子泵(3)、插板阀(4)、旁抽阀(5)、机械泵(6)和前级阀(7),其特征在于:所述的主腔体(1)是一个圆饼状的腔体,其圆周上均匀分布多个个法兰外接接头,同时主腔体下底面有多个法兰外接接头;所述的主腔体密封阀(2)、插板阀(4)、旁抽阀(5)及前级阀(7)为超高真空气动阀;所述的装置的密封形式均为金属密封,其中,仅VCR拆卸处采用镍圈密封,其余的接口处均采用无氧铜圈密封;主腔体(1)作为整个真空排气装置的公共真空室,其圆周上均匀分布多个外接接头将公共室分为多个分支,其中1个分支为测量工位,其余分支为排气工位;每个分支排气工位后均有一个主腔体密封阀ZX(2)和一个柔性转接头CX,其中CX带有为VCR快速拆装接头,可与待排杜瓦进行对接;主腔体公共真空室与泵组间有两个排气通道:其一为旁抽通道,旁抽阀(5)连通主腔体至机械泵(6);其一为主抽通道,插板阀(4)连通主腔体至分子泵(3),然后前级阀(7)连通分子泵至机械泵。 | ||
地址 | 200083 上海市虹口区玉田路500号 |