用于OLED镀膜的蒸镀罩

摘要

本实用新型公开了一种用于OLED镀膜的蒸镀罩，所述蒸镀罩的一面为ITO接触面，另一面为镀膜面，所述蒸镀罩上设有多个狭长沟槽，其中，所述狭长沟槽包括两个首位贯穿相连且开口一致的八字形沟槽，所述八字形沟槽贯穿整个蒸镀罩，所述ITO接触面上的沟槽宽度小于镀膜面上的沟槽宽度。本实用新型提供的用于OLED镀膜的蒸镀罩，通过在蒸镀罩上设置首位贯穿相连的八字形沟槽，不但能够避免镀膜时造成有机材料颗粒的遮挡，提高蒸镀层的均匀性和蒸镀质量，而且结构简单，易于蚀刻加工并能精确控制开口锥角和高度。

主权项

一种用于OLED镀膜的蒸镀罩，所述蒸镀罩的一面为ITO接触面(4)，另一面为镀膜面(5)，所述蒸镀罩上设有多个狭长沟槽，其特征在于，所述狭长沟槽包括两个首位贯穿相连且开口一致的八字形沟槽，所述八字形沟槽贯穿整个蒸镀罩，所述ITO接触面(4)上的沟槽宽度小于镀膜面(5)上的沟槽宽度。