减压干燥装置和减压干燥方法

摘要

本发明提供一种减压干燥装置和减压干燥方法，能够对基板上的涂布液进行减压干燥的同时减少水分的混入而进行溶剂的回收，该减压干燥装置（1）包括：腔室部（2），收纳基板；排气装置（3），排出所述腔室部内的气体；回收装置（4），冷却气体，并回收冷却后产生的液化物；第一配管（5），连接腔室部和排气装置，途中经由回收装置；其中，对腔室部内部的气体通过第一配管由排气装置排出而进行减压，由此将涂布在基板（W）上的涂布液进行减压干燥，通过减压干燥从涂布液（R）挥发的溶剂在所述回收装置中通过冷却被液化后回收；该装置还设置有第二配管（6），连接腔室部和排气装置，途中不经由回收装置。

主权项

一种减压干燥装置，包括：腔室部，收纳基板；排气装置，排出所述腔室部内的气体；回收装置，冷却气体，并回收冷却后产生的液化物；第一配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中经由所述回收装置，其中，对腔室部内部的气体通过所述第一配管并由所述排气装置排气而进行减压，由此对涂布在基板上的涂布液进行减压干燥，通过减压干燥从涂布液挥发的溶剂在所述回收装置中通过冷却而被液化后回收，其特征在于，该减压干燥装置进一步设有第二配管，该配管连接所述腔室部和所述排气装置，途中不经由所述回收装置。