发明名称 |
半导体器件及其制造方法 |
摘要 |
本发明是半导体器件及其制造方法。半导体器件,包括:垂直沟道层;管道沟道层,被配置成连接所述垂直沟道层的下端部;以及管道栅,围绕所述管道沟道层且包括第一区域和剩余的第二区域,所述第一区域与管道沟道层接触并包括第一类型杂质,所述剩余的第二区域包括与所述第一类型杂质不同的第二类型杂质。 |
申请公布号 |
CN103247631A |
申请公布日期 |
2013.08.14 |
申请号 |
CN201210458176.2 |
申请日期 |
2012.11.14 |
申请人 |
爱思开海力士有限公司 |
发明人 |
李起洪;皮昇浩;孙玄洙 |
分类号 |
H01L27/115(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/115(2006.01)I |
代理机构 |
北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 |
代理人 |
俞波;郭放 |
主权项 |
一种半导体器件,包括:垂直沟道层;管道沟道层,所述管道沟道层被配置成连接所述垂直沟道层的下端部;以及管道栅,所述管道栅围绕所述管道沟道层且包括第一区域和剩余的第二区域,所述第一区域与管道沟道层接触并包括第一类型杂质,所述剩余的第二区域包括与所述第一类型杂质不同的第二类型杂质。 |
地址 |
韩国京畿道 |