发明名称 半导体器件及其制造方法
摘要 本发明是半导体器件及其制造方法。半导体器件,包括:垂直沟道层;管道沟道层,被配置成连接所述垂直沟道层的下端部;以及管道栅,围绕所述管道沟道层且包括第一区域和剩余的第二区域,所述第一区域与管道沟道层接触并包括第一类型杂质,所述剩余的第二区域包括与所述第一类型杂质不同的第二类型杂质。
申请公布号 CN103247631A 申请公布日期 2013.08.14
申请号 CN201210458176.2 申请日期 2012.11.14
申请人 爱思开海力士有限公司 发明人 李起洪;皮昇浩;孙玄洙
分类号 H01L27/115(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I 主分类号 H01L27/115(2006.01)I
代理机构 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 代理人 俞波;郭放
主权项 一种半导体器件,包括:垂直沟道层;管道沟道层,所述管道沟道层被配置成连接所述垂直沟道层的下端部;以及管道栅,所述管道栅围绕所述管道沟道层且包括第一区域和剩余的第二区域,所述第一区域与管道沟道层接触并包括第一类型杂质,所述剩余的第二区域包括与所述第一类型杂质不同的第二类型杂质。
地址 韩国京畿道
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