薄膜晶体管及其制作方法及显示器

摘要

本发明公开了一种薄膜晶体管的制作方法包括：提供一基板；在基板上依序形成一栅极、一栅绝缘层覆盖栅极、一主动层；在主动层上形成一导电层包括一源极、一漏极以及一位于源极与漏极之间的分隔部；在导电层上形成一第一光阻层，第一光阻层覆盖源极与漏极，并暴露出分隔部；使分隔部氧化而形成一绝缘金属氧化物层，以电性隔离源极与漏极；以及移除第一光阻层。本发明通过在刻蚀(连接源极与漏极的)分隔部时保留分隔部，然后再氧化分隔部的方式电性隔离源极与漏极，以避免刻蚀工艺损害分隔部下的主动层。

主权项

一种薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，包括：提供一基板；在所述基板上形成一栅极；在所述基板上形成一栅绝缘层覆盖所述栅极；在所述栅绝缘层上形成一主动层，其中所述主动层位于所述栅极上方；在所述主动层上形成一导电层，所述导电层包括一源极、一漏极以及一位于所述源极与所述漏极之间的分隔部；在所述导电层上形成一第一光阻层，所述第一光阻层覆盖所述源极与所述漏极，并暴露出所述分隔部；使所述分隔部氧化而形成一绝缘金属氧化物层，以电性隔离所述源极与所述漏极；以及移除所述第一光阻层。