Probenaufnahmevorrichtung für einen Strahl geladener Teilchen

摘要

Es wird eine Probenaufnahmevorrichtung für einen Strahl geladener Teilchen angegeben, die die Übergabe einer Probe zwischen einer FIB und einem SEM in einer isolierten atmosphärischen Umgebung erleichtert. Es wird eine Atmosphärenentkoppelungs-Einheit 10 zum Anbringen eines Deckels 9 an einem Atmosphärenentkoppelungs-Probenhalter 7 isoliert von Luft und zum Entfernen des Deckels von dem Probenhalter innerhalb eines Probenwechslers 5 angegeben, der mit einer Probenkammer 4 der FIB 1 oder des SEM über eine Sperre verbunden ist. Der Deckel 9 wird entfernt, indem einfach ein Wechselschieber 11 verschoben wird, wodurch lediglich der Probenhalter in die Probenkammer 4 gebracht wird. Die Probe befindet sich in einer von Luft entkoppelten atmosphärischen Umgebung, beispielsweise unter Vakuum, auf dem Atmosphärenentkoppelungs-Probenhalter 7 und anschießend wird die Probe von der Außenluft isoliert, indem der Deckel 9 an dem Probenhalter angebracht wird; die Probe kann in der FIB 1 oder dem SEM bearbeitet und betrachtet werden, indem einfach der Probenwechselschieber 11 in diese Position gebracht wird, und, wenn der Probenwechselschieber 11 herausgezogen wird, kann ferner der Zustand der Entkoppelung zwischen Probe und Außenluft beibehalten werden, indem der Deckel des Probenhalters in der Atmosphärenentkoppelungs-Einheit 10 angebracht wird.