有机材料的蒸发器及蒸发有机材料的方法

摘要

本发明描述一种用于汽化欲沉积于一挠性基板上的有机材料的蒸发器。所述蒸发器包括：一蒸发管，具有一壁，所述壁包围用于汽化所述有机材料的一空腔；至少一个加热装置，邻近于所述壁配置且经调适以加热所述蒸发管；至少一个自所述蒸发管突出的喷嘴组件，其中所述喷嘴组件进一步包含具有一开口的一喷嘴盖；及一挡门，所述挡门用于选择性开启及关闭所述喷嘴盖的所述开口，其中所述挡门被调适成在操作所述蒸发管时具有在140℃的挡门温度范围内的温度，以使得所述喷嘴盖的温度在所述挡门温度范围内。

主权项

一种用于汽化欲沉积于挠性基板上的有机材料的蒸发器，包含：蒸发管，所述蒸发管具有壁，所述壁包围用于汽化所述有机材料的空腔；至少一个加热装置，配置以加热所述蒸发管；所述蒸发管具有至少一个喷嘴组件，其中所述壁的平均热导率约为200W/m·K或更高，所述壁的厚度为6mm或更高。