用于单切管芯测试的方法和装置

摘要

根据本发明的一个实施例，可以实现一种单切管芯测试方法。这可以通过获取晶片并将管芯单切为单独的管芯模片来实现。单切管芯可以被排列在分离的测试排列中，甚至可以将来自多个晶片的管芯作为组合排列的部分相组合。然后，可以对组合测试排列实现测试。

主权项

一种测试硅晶片的方法，所述方法包括：获取具有第一多个管芯的第一硅晶片；获取具有第二多个管芯的第二硅晶片；从所述第一硅晶片单切出所述第一多个管芯，以形成第一组单切管芯；从所述第二硅晶片单切出所述第二多个管芯，以形成第二组单切管芯；以组合管芯排列的形式将所述第一组单切管芯和所述第二组单切管芯一起排列在支持面上，其中所述组合管芯排列包括总数超过形成在所述第一硅晶片上的管芯的数目的管芯；作为单个测试序列的部分，测试所述组合管芯排列。