晶粒转塔式取放装置

摘要

本发明涉及集成电路芯片处理技术领域，公开了一种晶粒转塔式取放装置，包括吸嘴机构和垂直动力机构，取放装置还包括支架和转盘，转盘设置在支架的悬臂梁下，转盘上设有多个转臂，每个转臂上设置一个吸嘴机构，转盘由一个力矩电机提供旋转动力，在转盘上方设置一个旋转气接头，每个吸嘴机构通过一根气管连接至旋转气接头，转盘在多个转臂的旋转位置上设置多个工位，每个工位与每个转臂相对应，在多个工位的至少两个工位上设置垂直动力机构。本发明将垂直运动的动力头和吸嘴机构分离，只在需要垂直运动的工位布置垂直运动的动力头，这样既省去了导电环结构，又节省了成本，使得机器可以根据工位需要灵活配置。

主权项

一种晶粒转塔式取放装置，包括吸嘴机构和垂直动力机构，所述吸嘴机构可以实现下压和提升动作，其特征在于：所述取放装置还包括支架和转盘，所述转盘设置在所述支架的悬臂梁下，所述转盘上设有多个转臂，每个转臂上设置一个所述吸嘴机构，所述转盘由一个力矩电机提供旋转动力，在所述转盘上方设置一个旋转气接头，每个所述吸嘴机构通过一根气管连接至所述旋转气接头，所述转盘在所述多个转臂的旋转位置上设置多个工位，每个工位与每个转臂相对应，在所述多个工位的至少两个工位上设置所述垂直动力机构。