一种分段激光打孔方法

摘要

本发明公开了一种分段激光打孔方法，主要解决现有激光打孔技术打出的孔孔径不均匀的问题。其实现主要步骤是将波长为355nm-266n的紫外光激光束的功率密度调整到大于107W/cm2，并且将激光束精确地聚焦到打孔材料的打孔部位；将激光束照射打孔部位0.0001s-0.1s；多次累进的将激光束的直径减小1%-6%、功率增大0.5%-4%后，照射打孔部位0.0001s-0.1s；直至孔深满足设计要求时，停止打孔。本发明采用分段的方法进行打孔，使激光束的能量降低，孔的深度增加，空的偏差减小，从而时孔的精度显著提高，扩展了激光打孔的应用范围。

主权项

一种分段激光打孔方法，其特征在于包括以下步骤：（1）将UV级紫外光激光束的功率密度调整到大于107W/cm2，并且将激光束精确地聚焦到打孔材料的打孔部位；（2）将UV级紫外光激光束照射打孔部位0.0001s‑0.1s；（3）将UV级紫外光激光束的直径减小1%‑6%、功率密度增大0.5%‑4%后，照射打孔部位0.0001s‑0.1s；之后，转入步骤（4）；（4）在上一步骤直径减小1%‑6%和功率密度增大0.5%‑4%后的基础上，进一步将再将UV级紫外光激光束的直径减小1%‑6%和功率密度增大0.5%‑4%后，照射部位0.0001s‑0.1s；之后，转入步骤（5）；（5）如果打孔的深度未能满足设计要求，则转入步骤（4）；如果打孔的深度满足设计要求，则停止打孔。