搬运装置

摘要

本发明涉及搬运装置。根据实施方式一方面的搬运装置包括：搬运室；机器人，所述机器人设置在所述搬运室中的一个长侧壁附近；以及线性移动机构，所述线性移动机构具有轨道，所述机器人沿所述轨道在所述搬运室的纵向方向上线性地移动。所述机器人的臂被限定具有如下长度，该长度使得即使所述臂绕所述臂支轴旋转所述臂也不会与另一个长侧壁干涉。所述线性移动机构的所述轨道具有如下长度，该长度使得与所述轨道垂直的所述手的前端到达设置于长侧壁中的多个连接口部之中的位于端部处的连接口部中的预定位置。

主权项

一种搬运装置，所述搬运装置包括：搬运室，所述搬运室具有由壁围绕的大致矩形体的基板搬运空间，并且所述搬运室具有多个连接口部，这些连接口部在周壁的长侧壁中并排地设置，用于与外界连通；机器人，所述机器人设置在所述搬运室的一个长侧壁附近，所述机器人的底端设置在基座上以借助臂支轴水平地旋转，并且所述机器人的前端设置有单个臂，在所述臂上设置有用于水平地旋转的手，所述手保持通过所述连接口部而被搬入和搬出的基板；以及线性移动机构，所述线性移动机构具有轨道，所述机器人沿着所述轨道在所述搬运室的纵向方向上线性地移动，其中：所述机器人的所述臂被限定为具有如下长度，该长度使得即使所述臂绕所述臂支轴旋转所述臂也不会与另一长侧壁干涉；并且所述线性移动机构的所述轨道具有如下长度，该长度使得与所述轨道垂直的所述手的前端到达所述多个连接口部之中的位于端部处的连接口部中的预定位置。