感应耦合等离子体用天线部件、处理装置以及处理方法

摘要

本发明涉及感应耦合等离子体用天线部件、处理装置以及处理方法，在平面状地邻接设置多个天线的情况下，确保良好的等离子体控制性。感应耦合等离子体用天线部件(50)具有用于在等离子体处理装置的处理室内生成对基板(G)进行等离子体处理的感应耦合等离子体的天线，在该感应耦合等离子体用天线部件(50)中，天线(131)被配置成具有与基板(G)相对置地形成的、生成有助于生成等离子体的感应电场的平面区域(141)。并且，平面区域(141)由多个天线段(61、71)构成，该多个天线段(61、71)是在与基板(G)交叉的方向上纵向螺旋状地卷绕天线线材(62、72)而构成的，具有形成平面区域(141)的一部分的平面部(63、73)。

主权项

一种感应耦合等离子体用天线部件，具有用于在等离子体处理装置的处理室内生成对基板进行等离子体处理的感应耦合等离子体的天线，该感应耦合等离子体用天线部件的特征在于，构成为，上述天线具有与上述基板相对置地形成的、生成有助于生成上述感应耦合等离子体的感应电场的平面区域，并且配置为上述平面区域由多个天线段构成，所述多个天线段均具有形成上述平面区域的一部分的平面部，上述天线段是在与上述基板交叉的方向上纵向螺旋状地卷绕天线线材构成的。