| 发明名称 |
Semiconductor device manufacturing method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1975978(A3) |
申请公布日期 |
2013.08.14 |
| 申请号 |
EP20080158159 |
申请日期 |
2002.12.10 |
| 申请人 |
FUJITSU SEMICONDUCTOR LIMITED |
发明人 |
SASHIDA, NAOYA |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L49/02;H01L21/02;H01L21/316;H01L21/8246;H01L27/06;H01L27/105;H01L27/115 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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