Anordnung mit mehreren Abtasteinheiten einer Positionsmesseinrichtung

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung zur Erfassung der Position eines Objekts gegenüber einem Referenzsystem. Das Objekt ist hierbei mindestens entlang zweier orthogonaler, erster und zweiter Hauptbewegungsachsen gegenüber dem Referenzsystem beweglich angeordnet. Eine Positionsmesseinrichtung umfasst zur Erfassung der Position des Objektes gegenüber dem Referenzsystem mindestens zwei, entlang der ersten Hauptbewegungsachse angeordnete, zweidimensionale Maßverkörperungen und vier Abtasteinheiten zur optischen Abtastung dieser Maßverkörperungen. Ferner sind mindestens vier zusätzliche Erweiterungs-Abtasteinheiten vorgesehen, die entlang der ersten Hauptbewegungsachse zwischen den vier Abtasteinheiten angeordnet sind.