滤光器器件及滤光器器件的制造方法

摘要

本发明提供了一种滤光器器件及滤光器器件的制造方法，该滤光器器件具备干涉滤波器和壳体。干涉滤波器具备固定基板、与固定基板接合的可动基板、设置在固定基板上的固定反射膜以及设置在可动基板上且隔着反射膜间间隙与所述固定反射膜相对的可动反射膜。壳体具备能配置干涉滤波器的底部基板。在可动基板与底部基板之间配置有固定部件。在从基板厚度方向俯视观察可动基板的情况下，可动基板在除了设置有所述可动反射膜的区域以外的一处通过固定部件被固定在底部基板上。

主权项

一种滤光器器件，其特征在于，具备：干涉滤波器以及收容所述干涉滤波器的壳体，所述干涉滤波器具备第一基板、第二基板、第一反射膜以及第二反射膜，所述第二基板与所述第一基板相对配置且与所述第一基板接合，所述第一反射膜设置在所述第一基板上，所述第二反射膜设置在所述第二基板上且隔着反射膜间间隙与所述第一反射膜相对，所述壳体具备能配置所述干涉滤波器的底部基板，在所述第二基板与所述底部基板之间配置有将所述第二基板固定在所述底部基板上的固定部件，在从基板厚度方向俯视观察所述第二基板的情况下，所述第二基板在除了设置有所述第二反射膜的区域以外的一处通过所述固定部件固定。