一种Ta-Mo-N复合涂层及其制备方法

摘要

本发明涉及Ta-Mo-N复合涂层及其制备方法，Ta-Mo-N复合涂层是采用高纯Ta靶和高纯Mo靶共溅射，与真空室中Ar气和N2混合气体中的N2气反应生成Ta-Mo-N，沉积在金属、硬质合金或陶瓷的基体上形成；该复合涂层的硬度为30～34GPa，常温下的摩擦系数为0.4～0.5且随温度升高而降低。本发明所得的Ta-Mo-N复合涂层不但具有高硬度，而且具有较低的常温和高温摩擦系数，可作为高速切削刀具及其它在高温条件下服役耐磨工件的涂层。

主权项

Ta‑Mo‑N复合涂层，其特征在于采用高纯Ta靶和高纯Mo靶共溅射，与真空室中Ar气和N2混合气体中的N2气反应生成Ta‑Mo‑N，沉积在金属、硬质合金或陶瓷的基体上形成；该涂层的硬度为30～34GPa，常温下的摩擦系数为0.4～0.5且随温度升高而降低。