发明名称 |
光刻胶树脂、及利用其形成图案的方法和制造显示面板的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种光刻胶树脂组合物、用于形成图案的方法、以及使用该光刻胶树脂组合物制造显示面板的方法。该光刻胶树脂组合物包括碱溶性树脂、光刻胶化合物、和溶剂,其中碱溶性树脂包括由下面化学式1表示的第一聚合物树脂,其中,R1、R2、R3、R4、R5和R6中的至少一个是羟基,至少两个是甲基且其余的任意基团是氢,而R7、R8、R9、R10和R11中的至少一个是羟基,至少两个是甲基且其余的任意基团是氢。化学式1。 |
申请公布号 |
CN101561632B |
申请公布日期 |
2013.08.14 |
申请号 |
CN200910134442.4 |
申请日期 |
2009.04.14 |
申请人 |
三星显示有限公司;AZ电子材料(韩国)株式会社 |
发明人 |
朴廷敏;郑斗喜;李政洙;李羲国;吴世泰;姜德万;崔宰荣 |
分类号 |
G03F7/004(2006.01)I;G03F7/008(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01)I |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 |
代理人 |
吴贵明;张英 |
主权项 |
1.一种光刻胶树脂组合物,包括碱溶性树脂、光刻胶化合物、和溶剂,其中,所述碱溶性树脂包括由以下的化学式1表示的第一聚合物树脂,化学式1<img file="FSB00001065586600011.GIF" wi="1962" he="521" />其中,R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>、R<sub>3</sub>、R<sub>4</sub>、R<sub>5</sub>和R<sub>6</sub>中的至少一个是羟基,至少两个是甲基,其余的任意基团是氢,而R<sub>7</sub>、R<sub>8</sub>、R<sub>9</sub>、R<sub>10</sub>和R<sub>11</sub>中的至少一个是羟基,至少两个是甲基,其余的任意基团是氢,其中所述光刻胶化合物是在曝光时发生光化学反应从而产生酸或自由基的化合物。 |
地址 |
韩国京畿道 |