Einrichtung zur Probenanalyse mittels Röntgenspektroskopie

摘要

Einrichtung zur Analyse einer Probe (1) mittels Röntgenspektroskopie zur Elementanalyse und Elementqualifizierung, umfassend–eine mikroskopische Anordnung zur Beobachtung der Probe (1), wobei sich der zu analysierende Probenbereich in der Fokusebene eines Mikroskopobjektivs (2) befindet,–eine Elektronenquelle (3), von der ein Elektronenstrahl (4) auf einen mittels der mikroskopischen Anordnung ausgewählten Bereich der Probe (1) ausrichtbar ist, und–einen Röntgenstrahlen-Detektor (6), ausgebildet zur Detektion der durch die Wechselwirkung des Elektronenstrahls (4) mit dem Probenmaterial entstehenden Röntgenstrahlung (5), wobei–die Elektronenquelle (3) und der Röntgenstrahlen-Detektor (6) als Baueinheit in Form eines Analysemoduls (7) ausgebildet sind, und wobei–das Analysemodul (7) gemeinsam mit dem Mikroskopobjektiv (2) auf einem Objektivwechsler angeordnet ist, oder wobei–das Analysemodul (7) mit einer Schwenkvorrichtung (21) zum Einschwenken in einen Bereich zwischen Mikroskopobjektiv (2) und Probe (1) in Verbindung steht, wobei das Einschwenken unter Beibehaltung des Arbeitsabstandes zwischen Mikroskopobjektiv (2) und Probe (1) oder nach Vergrößerung des Abstandes zwischen Mikroskopobjektiv (2) und Probe (1) verwirklichbar ist, so dass der Objektivwechsler oder die Schwenkvorrichtung zum temporären Positionieren des Analysemoduls (7) in einer Arbeitsposition, in der sich der zu analysierende Probenbereich im Elektronenstrahl (4) und zugleich im Empfangsbereich des Röntgenstrahlen-Detektors (6) befindet, ausgebildet ist, wobei–eine Abschirmung (8) vorhanden ist, durch welche die Elektronenquelle (3), der Röntgenstrahlen-Detektor (6) und der zu analysierende Probenbereich von der umgebenden freien Atmosphäre hermetisch getrennt sind und wobei eine Vorrichtung zum Beschicken des Raumvolumens innerhalb der Abschirmung (8) mit einem Gas, vorzugsweise mit Helium, vorhanden ist.