Mikromechanisches Bauelement mit einer Membran

摘要

Es werden Maßnahmen vorgeschlagen, durch die nicht nur ein Bruch sondern auch Risse in der Membranstruktur eines mikromechanischen Bauelements mit Hilfe von in die Membranstruktur integrierten Schaltungsmitteln erkannt werden können. Erfindungsgemäß wird dazu zumindest ein Teil der Schaltungsmittel (13) in die Unterseite der Membran (11), d.h. in einen unmittelbar an die Kaverne (12) unter der Membran (11) angrenzenden Membranbereich, integriert.