一种硅片投料模块及对应的清洗设备

摘要

本实用新型提供一种硅片投料模块及对应的清洗设备。现有技术仅使用人工投料或机械投料存在着效率或可靠性较低等问题，且没有容纳滴液的设计易导致设备腐蚀损坏，再者通过滚轮上的限位轮导向存在易磨损和更换成本高等问题。本实用新型的硅片投料模块用于将硅片投送进具有外主动滚轮的清洗设备，包括投料机架、从动滚轮和投料台，待投料的硅片放置在投料台上，从动滚轮通过多条传送带连接在外主动滚轮上且由其带动转动，多条传送带顶端形成硅片传送面，该硅片传送面上垂直并列设置有多条导向条，硅片被限定在导向条间且在硅片传送面上进行导向传送。本实用新型结合了人工投料和机械投料的优点，可提高投料效率及其安全性和可靠性，且可降低成本。

主权项

一种硅片投料模块，用于将硅片投送进清洗设备，所述清洗设备包括位于清洗设备外侧的外主动滚轮，其特征在于，所述硅片投料模块包括投料机架、设置在所述投料机架上的从动滚轮和投料台，所述从动滚轮和投料台分别位于靠近和远离所述外主动滚轮的一侧，所述待投料的硅片放置在投料台上，所述从动滚轮通过多条传送带连接在外主动滚轮上且在外主动滚轮的带动下转动，所述多条传送带顶端形成一硅片传送面，所述硅片传送面上垂直并列设置有多条导向条，所述硅片被限定在导向条间且在硅片传送面上进行导向传送。