基板检查装置的对准方法以及基板检查装置

摘要

本发明提供一种即使在检查夹具上设置了大量的检查销的情况下，也能够以廉价的结构并且高效率地进行检查夹具与被检查基板的对位的基板检查装置的对准方法。在根据第一夹具照相机（21）的拍摄图像来取得与第一检查夹具（13）的位置有关的夹具位置信息时，针对第一检查夹具（13）的多个检查销（131）中的一部分或全部的检查销（131），考虑对其在XY方向的销位置从设计位置的偏移进行了平均的销平均偏移、以及设置在第一检查夹具（13）上的夹具位置标记的在XY方向的位置从设计位置的偏移即夹具位置标识偏移，来求出夹具位置。

主权项

一种调整检查夹具与被检查基板的位置关系的基板检查装置的对准方法，其中，设置在基板检查装置的夹具设置部上的所述检查夹具具有可接近、离开设置在基板设置部上的被检查基板并分别与设定在上述被检查基板上的多个检查点接触的多个检查销，所述方法的特征在于具备以下步骤：测量在设置于上述夹具设置部上的上述检查夹具上设置的上述多个检查销中的一部分或全部检查销的在XY方向的销位置从设计位置的偏移，对所测量到的偏移进行平均并取得销平均偏移，并测量设置在上述检查夹具上的夹具位置标记的在XY方向的位置从设计位置的偏移并取得夹具位置标记偏移的步骤；将所取得的上述销平均偏移和上述夹具位置标记偏移单独地或合成并登记在上述基板检查装置中的步骤；利用设置在上述基板检查装置上的夹具照相机拍摄在上述夹具设置部上设置的上述检查夹具的上述夹具位置标记，根据基于所拍摄图像中的上述夹具位置标记的位置而检测到的上述夹具位置的在XY方向的位置、以及单独地或合成并预先登记的上述销平均偏移和上述夹具位置标记偏移，来取得与上述检查夹具的在XY方向的位置有关的夹具位置信息的步骤；利用设置在上述基板检查装置上的基板照相机拍摄在上述基板设置部上设置的上述被检查基板，并根据所拍摄图像取得与上述被检查基板的在XY方向的位置有关的基板位置信息的步骤；以及根据所取得的上述夹具位置信息和上述基板位置信息，来调整上述检查夹具和上述被检查基板的至少一方的位置，使得上述检查夹具的在XY方向的位置与上述被检查基板的在XY方向位置相对应的步骤。