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<p>Anordnung zur Aktuierung eines Elementes (100, 200, 300) in einem optischen System einer Projektionsbelichtungsanlage, wobei die Projektionsbelichtungsanlage einen Tragrahmen (110, 210, 310) aufweist, mit•wenigstens einem Aktuator (101, 201, 301) zur Ausübung steuerbarer Kräfte auf das Element (100, 200, 300);•wobei der Aktuator (101, 201, 301) einen ersten Aktuatorteil (101a, 201a, 301a), welcher an den Tragrahmen (110, 210, 310) über wenigstens ein mechanisches Filter (140, 240, 340) gekoppelt ist, und einen zweiten Aktuatorteil (101b, 201b, 301b), welcher unmittelbar an den Tragrahmen (110, 210, 310) mechanisch gekoppelt ist, aufweist; und•wobei der erste Aktuatorteil (101a, 201a, 301a) durch den zweiten Aktuatorteil (101b, 201b, 301b) bei der Ausübung von Kräften auf das Element (100, 200, 300) wenigstens teilweise entlastet wird.</p> |
