发明名称
摘要
申请公布号 JP5260520(B2) 申请公布日期 2013.08.14
申请号 JP20090525730 申请日期 2007.08.21
申请人 发明人
分类号 C23C18/31;C23C18/02;C23C18/14;C23C18/52 主分类号 C23C18/31
代理机构 代理人
主权项
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