发明名称 非接触式对位方法及装置
摘要 一种非接触式对位方法及装置,是以一基板为载体,及以该基板上的焊剂固结一感磁元件,并包含有相对该感磁元件产生磁性扭矩的一第一磁力组。主要是使散落在焊剂上的感磁元件,受前述磁性扭矩作用而转动,逐渐扩增与焊剂的重合区域,至该感磁元件完全覆盖于焊剂,且获得定位。藉此,利用前述特殊的方法与装置,简化对位程序、大幅提升产量,并有效降低设备成本。
申请公布号 TWI405292 申请公布日期 2013.08.11
申请号 TW098105635 申请日期 2009.02.23
申请人 国立中兴大学 台中市南区国光路250号 发明人 王东安;韩斌
分类号 H01L21/68;H01L21/60 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 高玉骏 台北市松山区南京东路3段248号7楼;杨祺雄 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项
地址 台中市南区国光路250号