评估模型之方法，检查装置及微影装置

摘要

本发明呈现一种评估一基板之一模型的方法。使用在一第一波长下之辐射而采取一散射量测。接着改变该辐射之该波长且采取一另一散射量测。若该等散射量测跨越一波长范围为一致的，则该模型足够精确。然而，若该等散射量测随着该波长改变而改变，则该基板之该模型不足够精确。