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发明名称
由电脑所产生之全像片、曝光设备及装置制造方法
摘要
本发明提供电脑产生的全像片,电脑产生的全像片包含多个单元,多个单元在预定平面上形成光强度分布,多个单元包含多个第一单元及多个第二单元,多个第一单元包含各向同性介质及各向异性介质,多个第二单元仅包含各向异性介质,其中,多个单元改变照射于多个单元中的每一个单元上的入射光的相位,以对第一方向上线性极化光分量的波前与垂直于第一方向的第二方向上的线性极化光分量的波前中的每一个波前,形成包含N(N≧2)的相位分布。
申请公布号
TWI405047
申请公布日期
2013.08.11
申请号
TW098118377
申请日期
2009.06.03
申请人
佳能股份有限公司 日本
发明人
松原功
分类号
G03F7/20;G06F17/50;G03H1/08
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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