光阻剥离组成物及剥离光阻之方法

摘要

本发明系有关于一种光阻剥离组成物。尤其，本发明之光阻剥离组成物包括式1所示之化合物，其具有优异的光阻剥离力，且当钼(Mo)包含于光阻下层膜时，其对于光阻下层膜展现优异的抗腐蚀效果。