涂布装置

摘要

本发明系一种涂布装置，可对基板涂布由涂布头之喷嘴吐出之溶液液滴，其中包含基板保持移动机构，可保持基板，并使基板进行循环移动以依序加以定位于涂布头之溶液之吐出作业位置、相机之拍摄作业位置及洗涤装置之洗涤作业位置各处。