摘要 |
为了提供一种能移动至头部下方而进行吐出口的清扫及检查之维修装置,以及具有维修装置之吐出装置。;本发明之维修装置(10),系沿着吐出装置(70)之主轨道(72)移动的维修装置(10);该吐出装置(70),是让基板(95)沿着主轨道(72)移动而通过头部保持部(80)的下方,从复数个头部(81)的吐出口(82)将吐出液的液滴朝基板(95)吐出而降落在基板(95)上。维修装置(10)系具备:装载于主轨道(72)上之第一移动台(15a)、配置在第一移动台(15a)上之载置台(19)、以及载置于载置台(19)上之检查装置(20)和清扫装置(30)。让第一移动台(15a)沿着主轨道(72)移动至头部保持部(80)的下方,接着让载置台(19)在第一移动台(15a)上移动,藉此能将清扫装置(30)配置在各头部(81)的正下方以除去吐出口(82)的附着物,或是能将检查装置(20)之摄影机的焦点配置在各吐出口(82)的正下方以拍摄吐出液的液滴并检查吐出口(82)。 |