处理气流之方法与电浆减量装置

摘要

本发明描述一种用于处理来自一多晶矽蚀刻处理之排气之方法，其使用一电浆减量装置来处理该气体。该装置包含一不锈钢气体腔室，其具有一用于收纳该气体之气体入口及一气体出口。因为该气体可能含有卤化合物及水蒸气，所以将该腔室加热至一抑制水在该腔室内之表面上之吸附的温度，藉此抑制该气体腔室之腐蚀。接着将该气体输送至该气体腔室以供处理，且在该气体之处理期间将该腔室之温度维持高于该温度。