微机电元件

摘要

一种微机电元件，包含一传感器与一电子介面装置。传感器具有一薄膜固定于一基底上，电子介面装置系用以使电子讯号与该薄膜之运动产生关联。传感器包含复数个应力缓冲结构位于薄膜之范围内，且应力缓冲结构至少部分地使薄膜与基底之膨涨或收缩脱钩。