光阻清洗剂以及应用其之清洗光阻的方法

摘要

一种光阻清洗剂，包括单甲基醚丙二醇丙酸酯、一环己酮以及单甲基醚丙二醇。将上述三种成分依照任意比例混合而成的光阻清洗剂对于所有种类的光阻都有很好的溶解与洗净效果，包括正型光阻以及传统光阻清洗剂无法处理的负型光阻。单甲基醚丙二醇丙酸酯之重量大约占光阻清洗剂之重量的20%至80%。