| 摘要 |
本发明有关一种处理气体流之方法，系通过一实质上闭合之回路循环一含水洗涤液体，该闭合回路包含一用于减少该液体酸性之电化学单元。将该循环液体之一部分远离该闭合回路转向至一气体洗涤单元。该气体流进入该洗涤单元中，其中例如HF之酸及例如SiO2颗粒之固体颗粒在溶解于该经转向之液体中的该气体流内。该经转向之液体随后经传回至该闭合回路，且在该洗涤单元中藉由自该闭合回路转向之新鲜液体来补充。;本发明提供一种用于在该闭合回路内之一位置处监视该液体之该酸性的设备。依经监视之浓度而定，控制藉由电化电池的该液体之酸性减少。藉由控制该液体之酸性，可最佳化该液体之该经转向之部分内的该等固体颗粒之溶解度。此可增加位于该闭合回路中在该电化学单元上游的一或多个过滤筒之寿命。 |
