| 摘要 |
本发明系开发一种热处理装置，其系改良藉由热风将基板等被加热物进行热处理之热处理装置，其可抑制伴随开闭门之开闭造成加热室内之温度变动。;系于热处理室设置排气导管30，于该排气导管30之途中设置送风机8，为将加热基板时产生之气体排出至外部，使送风机8保持运转，热处理装置1内部之压力虽有负压倾向，但藉由设置通气装置61，而可使其成为热处理装置1之内外几乎无压力差之状态。即于热处理装置1中，具有检测内部压力之压力感测器，将该压力感测器之信号反馈至致动器73使薄片66向上方移动，以调节通气装置61之有效开度而调整通气量。 |
