发光二极体晶片及其制作方法

摘要

一种发光二极体晶片的制造方法如下所述。首先，提供一成长基板，成长基板具有相对的一第一表面与一第二表面。接着，于第一表面上依序形成一第一型掺杂半导体层、一发光层以及一第二型掺杂半导体层。然后，于第二型掺杂半导体层上形成一导电反射层。之后，将第二型掺杂半导体层接合至一导电基板。接着，薄化与图案化成长基板，以于成长基板的第二表面上形成一凹槽图案并使成长基板暴露出部分的第一型掺杂半导体层。然后，于第一型掺杂半导体层上形成一第一电极。之后，于导电基板上形成一第二电极。