检查用治具之维修方法及基板检查装置

摘要

本发明之课题为：提供检查用治具之维修方法及基板检查装置，其能有效率地检测出检查用治具之接触件间的短路异常，并准确地掌握对基板检查所使用之检查用治具进行维修的时间点，而实施检查用治具的维修。;为解决上述课题，本发明之特征在于：使一对接触件分别接触到检查点间的各检查点，计算出该检查点间的电阻值；且于判定该检查点间为不良时，使当时原本接触于检查点的一对接触件再接触到检查点，再次计算出再接触状态下之该检查点间的电阻值，并比较所计算出的第二电阻值，与计算电阻值；然后按照比较结果，而实施检查用治具的维修。