真空镀膜设备之真空度量测装置

摘要

本创作有关于一种真空镀膜设备之真空度量测装置，包含有一真空计及一开关阀，开关阀安装于真空镀膜设备之一真空腔体且与真空计连接在一起，当开关阀开启时，真空腔体与真空计之间相互连通，使真空计能藉由量测气体的物理性质而换算出真空腔体内的真空度，当开关阀关闭时，真空腔体内与真空计之间互不相通，使真空计能够减少接触到化学腐蚀气体的机会，以达到延长维修周期及使用寿命的目的，同时便于维修操作。