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发明名称 INLINE SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20130088548(A) 申请公布日期 2013.08.08
申请号 KR20120009858 申请日期 2012.01.31
申请人 SFA ENGINEERING CORP. 发明人 HAN, KYUNG ROC;CHOI, BONG HWAN
分类号 C23C14/34;C23C14/56 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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