| 摘要 |
Die aktuelle Erfindung betrifft einen Düsenkopf (2), um eine Oberfläche (4) eines Substrats (6) hintereinander stattfindenden Oberflächenreaktionen mindestens eines ersten Präkursors (A) und eines zweiten Präkursors (B) auszusetzen, wobei der Düsenkopf (2) zwei oder mehrere verlängerte Präkursordüsen (8, 10) aufweist, um die Oberfläche (4) des Substrats (6) dem ersten und dem zweiten Präkursor (A, B) auszusetzen. Gemäß der aktuellen Erfindung weist der Düsenkopf (2) an der Auslassseite (5) Präkursordüsen (8, 10), Spülgaskanäle (12) und Ablasskanäle (42, 46) hintereinander in der folgenden Reihenfolge auf: mindestens eine erste Präkursordüse (8), einen ersten Ablasskanal (42), einen Spülgaskanal (12), eine zweite Präkursordüse (10), einen zweiten Ablasskanal (46) und einen Spülgaskanal (12), bei Wunsch mehrmals wiederholt.
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