发明名称 Photohärtbare Zusammensetzung zum Prägedruck und Verfahren zum Bilden eines Musters mittels der Zusammensetzung
摘要 Offenbart wird eine photohärtbare Zusammensetzung zum Prägedruck, die eine gute musterübertragende Eigenschaft und eine gute Ablösbarkeit von der Form (Musterbildungsoberfläche) hat, und zwar ungeachtet der Art des zu verwendenden polymerisierbaren Monomers, wodurch es möglich ist, ein Muster mit einer Ausprägung mit ausgezeichneter Reproduzierbarkeit zu bilden; und ein Verfahren zum Bilden eines Musters auf einem Substrat durch Photoprägedruck unter Verwendung der Zusammensetzung. Die photohärtbare Zusammensetzung zum Prägedruck umfasst (A) ein polymerisierbares Monomer mit (Meth)acrylgruppe, (B) einen Photoinitiator und (C) ein hochverzweigtes Polymer, das durch Polymerisation eines polymerisierbaren Monomers mit (Meth)acrylgruppe erhalten wurde. Vorzugsweise umfasst die Zusammensetzung 0,1–10 Gewichtsteile des Photoinitiators (B) und 0,1–10 Gewichtsteile des hochverzweigten Polymers (C) in Bezug auf 100 Gewichtsteile polymerisierbares Monomer (A).
申请公布号 DE112011102260(T5) 申请公布日期 2013.08.08
申请号 DE201111102260T 申请日期 2011.06.29
申请人 TOKUYAMA CORP. 发明人 UMEKAWA, HIDEKI;KAWABATA, YUICHIRO
分类号 H01L21/027;B29C59/02;G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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