一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组

摘要

本实用新型的主要目的在于提供一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，请参阅图1所示，所述之冷却模组是由不锈钢腔室11、气体分配模组12、传送滚轮13、承载盘14及下冷却模组15所组成。提供一强制冷却的机制，使承载盘均匀的冷却，于出腔室能将温度下降至低于100度以下，使后续处理步骤能在低温下执行，有效降低设备设置成本，又同时冷却室在腔室内完成，避免受到环境的污染。

主权项

一种用于异质结物理气相沉积设备冷却模组，冷却模组是由不锈钢腔室(11)、气体分配模组(12)、传送滚轮(13)、承载盘(14)及下冷却模组(15)所组成，所述之下冷却模组(15)，内部设有5mm深度的凹槽，用以放置冷却铜管，冷却铜管直径10mm，上下不锈钢板以M6螺丝锁固，所述之气体分配模组(12)，设置有51支气体分支管，气体由主管路进入分配管后，分配管上有面对承载盘分流的气体流出小孔，使气体均匀流向承载盘。