光波导

摘要

光波导。提供了一种在满足高保真、高效率信号传输的前提下，芯片薄，工艺条件友好，加工成本更低的光波导。包括基底上开设的倒梯形沟槽，在沟槽底部设有芯体层，所述芯体层的上部设有覆盖层。在所述基底的顶面以及沟槽的表面上设有抑制层。本实用新型技术使用LPCVD、金属蒸发以及光刻和湿法腐蚀工艺形成沟槽，然后在沟槽内填充芯体材料和覆盖层，此工艺成本低廉，可借助常规的半导体成熟工艺大量生产。在性能上和可靠性上具有明显的优势，另一方面采用较简单通用的工艺生产使成本大幅降低。本实用新型有效降低光器件的生产成本、提高可靠性、改善光传输性能；加快普及宽带以及FTTx建设；推进社会信息化进步。

主权项

光波导，包括基底上开设的倒梯形沟槽，其特征在于，在沟槽底部设有芯体层，所述芯体层的上部设有覆盖层。