一种全金属过滤器

摘要

本实用新型涉及一种全金属过滤器，特别涉及一种应用于半导体设备上的全金属气体过滤器。该全金属过滤器，其特征是，包括进口管、过滤芯和滤芯套管，所述的滤芯套管套装在进口管上，过滤芯套放在滤芯套管的滤芯腔内，进口管上开有进气口，滤芯套管上开有出气口，进气口、滤芯腔和出气口在同一中心中轴线上且相互联通，所述的过滤芯为不锈钢烧结滤芯。本产品密封性能好，使用寿命长，采用不锈钢材质的外壳，机械强度高，能长时间处理高温高压气体；采用的管式壳体和两端的卡套式接头，使得过滤器结构紧凑，体积小，拆装方便；安装的过滤芯由于采用金属粉末烧结工艺，孔径小，孔隙率高，能实现更高的过滤效率。

主权项

一种全金属过滤器，其特征在于：包括进口管、过滤芯和滤芯套管，所述的滤芯套管套装在进口管上，过滤芯套放在滤芯套管的滤芯腔内，进口管上开有进气口，滤芯套管上开有出气口，进气口、滤芯腔和出气口在同一中心中轴线上且相互联通，所述的过滤芯为不锈钢烧结滤芯。