| 发明名称 | 一种用于微刻的投影曝光设备的成像装置的光学元件的操纵装置 | ||
| 摘要 | 披露的是一种用于微刻的投影曝光设备(1)的成像装置(7)，其包括至少一个光学元件(10、33、34)和至少一个操纵装置(9、36、41)，该操纵装置设置有线性驱动器(11)，用于操纵光学元件(10、33、34)的位置。该线性驱动器(11)包括驱动的部分(14)和不驱动的部分(15)，它们沿着轴线(17)朝着彼此可移动。这两个部分(14、15)至少临时地经由沿着轴线(17)可操作的功能元件(18)，以及经由在一个方向上可操作的功能元件(19)来至少近似平行于移动轴线(17)来相互连接。 | ||
| 申请公布号 | CN101308333B | 申请公布日期 | 2013.08.07 |
| 申请号 | CN200810125368.5 | 申请日期 | 2002.12.17 |
| 申请人 | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 | 发明人 | W·哈梅尔;J·菲舍尔;K·-E·奥贝勒;E·默茨;R·罗尔;K·里夫;S·舍恩加特;M·诺伊迈尔;B·特罗斯巴赫;T·拉赛尔;U·韦伯;M·米尔贝耶;H·霍尔德雷尔;A·科尔;J·韦伯;J·利佩尔特 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 邱军 |
| 主权项 | 一种用于微刻的投影曝光设备的成像装置的光学元件的操纵装置，光学元件安装于可移动部分(12)，可移动部分(12)和固定部分(13)经由环形盘(22)并经由三个线性驱动器(11)连接，环形盘(22)经由圆周固定接合点(23)连接至可移动部分(12)和固定部分(13)，线性驱动器(11)的移动轴线(17)至少近似垂直于环形盘(22)的平面，且该三个线性驱动器(11)与该平面的相交点形成三角形。 | ||
| 地址 | 德国上科亨 | ||