检查方法和检查装置

摘要

提供在检查基板时能根据被检查部位种类等来进行检查且能缩短检查时间的检查方法和检查装置。由X射线源输出且透过检查对象即基板的X射线被FPD（平板检测器）拍摄成X射线透视图像。用于生成X射线CT的重建数据的拍摄与用于生成X射线照相组合的重建数据的拍摄同样地，在以X射线源（2）的光轴（L）为轴的假想圆上的位置（301~308）进行。然后，在生成X射线CT的重建数据时，针对在各位置（302～308）得到的X射线透视图像，根据假想圆（300）上的旋转位置，利用仿射变换来使各图像以各X射线透视图像的中心为轴旋转，使得如同在各位置（302A～308A）拍摄得到，在这样进行数据转换后进行滤波处理。

主权项

一种检查方法，通过X射线检测部拍摄由X射线源输出且透过了检查对象物的检查对象区域的X射线，根据拍摄得到的图像来重建上述检查对象区域的三维图像，并使用重建得到的三维图像来检查上述检查对象区域，其特征是，包括：在假想圆上改变上述X射线检测部的位置的步骤，使得在该假想圆上的多个位置中的各位置上，上述X射线检测部所取得的图像的坐标系的方向相同，该假想圆位于与上述X射线源的光轴水平交叉的假想平面上且以上述光轴为中心，在该假想圆上的多个位置中的各位置上，使上述X射线检测部进行X射线透视拍摄的步骤，基于上述X射线检测部的X射线透视拍摄的结果，生成X射线CT图像的步骤，基于与生成上述X射线CT图像时所使用的X射线透视拍摄的结果相同的X射线透视拍摄的结果，生成X射线照相组合的断层图像的步骤；在生成上述X射线CT图像的步骤中，对作为上述X射线检测部的X射线透视拍摄的结果所得到的各像素的数据，沿着特定方向进行滤波处理，该特定方向是指，与该X射线检测部的拍摄位置在以上述X射线源的光轴为中心的假想圆上的旋转角度对应的方向。