全自动光学测厚仪及其折射/透射率数据处理方法

摘要

本发明公开了一种全自动光学测厚仪，其结构如下：模拟信号采集装置的信号输出端与模拟信号预处理电路的信号输入端连接，模拟信号预处理电路的信号输出端与A/D转换电路的信号输入端连接，A/D转换电路的信号输出端与处理器的折射/透射率数据信号输入端连接，处理器的视频信号输出端与显示器的信号输入端连接。本发明还公开了一种全自动光学测厚仪的折射/透射率数据处理方法，包括以下步骤：输入包含一位小数位的折射/透射率数据；中值滤波；提取有效折射/透射率的小数位；小数位处理；判断是否出现极值；显示折射/透射率值、折射/透射率趋势线和极值数量；循环执行。通过本发明测量厚度，测量准确、数据精确，结果稳定、可靠。

主权项

一种全自动光学测厚仪的折射/透射率数据处理方法，所述全自动光学测厚仪包括模拟信号采集装置、模拟信号预处理电路、A/D转换电路、中央处理器和显示器，所述模拟信号采集装置的信号输出端与所述模拟信号预处理电路的信号输入端连接，所述模拟信号预处理电路的信号输出端与所述A/D转换电路的信号输入端连接，所述A/D转换电路的信号输出端与所述中央处理器的折射/透射率数据信号输入端连接，所述中央处理器的视频信号输出端与所述显示器的信号输入端连接；其特征在于：所述折射/透射率数据处理方法包括以下步骤：（1）输入包含一位小数位的折射/透射率数据；（2）中值滤波，获得有效折射/透射率；（3）提取有效折射/透射率的小数位；（4）设置两个临域，判断小数位是否临域间的变化；如果不是，则进入步骤（8），如果是，则进行去掉小数位处理，然后则进入下一步骤；（5）判断是否出现极值，如果没出现，则进入步骤（8），如果出现，则进入下一步骤；（6）显示折射/透射率值、折射/透射率趋势线，更新并显示极值数量；（7）返回第（2）步骤，循环执行；（8）显示折射/透射率值、折射/透射率趋势线，不更新只显示极值数量；（9）返回第（2）步骤，循环执行。