发明名称 |
集尘箱及具有该集尘箱的抽真空系统 |
摘要 |
本发明提供一种集尘箱及具有该集尘箱的抽真空系统,属于真空技术领域,其可解决现有的集尘箱除尘效果不好的问题。本发明的集尘箱包括:内有腔室的箱体;具有第一开口和第二开口的伸入腔室内的出气管,该第一开口位于腔室内,第二开口位于腔室外;具有第三开口和第四开口的伸入腔室内的进气管,该第三开口位于腔室内且朝向腔室侧壁,第四开口位于腔室外。本发明的抽真空系统包括上述集尘箱,所述集尘箱的出气管的第二开口连接真空泵。本发明可用在对含有大量粉尘的气体抽真空的工艺过程中。 |
申请公布号 |
CN102335534B |
申请公布日期 |
2013.08.07 |
申请号 |
CN201010231019.9 |
申请日期 |
2010.07.14 |
申请人 |
北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
发明人 |
卢青;徐锋;胡海波;熊炳辉;崔晓娟;朱厚华 |
分类号 |
B01D45/16(2006.01)I |
主分类号 |
B01D45/16(2006.01)I |
代理机构 |
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 |
代理人 |
申健 |
主权项 |
一种集尘箱,包括:箱体,其内部具有腔室;出气管,伸入所述腔室内,具有第一开口和第二开口,所述第一开口位于所述腔室内,所述第二开口位于所述腔室外;其特征在于,所述集尘箱还包括:进气管,伸入所述腔室内,具有第三开口和第四开口,所述第三开口位于所述腔室内且朝向所述腔室的侧壁,所述第四开口位于所述腔室外;所述进气管伸入所述腔室内后通过弯折使所述第三开口朝向所述腔室的内壁。 |
地址 |
100871 北京市海淀区成府路298号方正大厦5层 |