包含内酯骨架的单体、高分子化合物及光致抗蚀剂组合物

摘要

本发明的目的在于提供一种新型的含有内酯骨架的单体，所述含有内酯骨架的单体在应用于抗蚀剂用树脂等时，作为下述高功能性高分子等的单体成分等而有用，所述高功能性高分子等不仅可保持耐药品性等稳定性，而且在有机溶剂中具有优异的溶解性，其水解性和/或水解后相对于水的溶解性得以提高。为此，本发明提供一种含有内酯骨架的单体，该单体以下述式(1)表示(式中，Ra表示氢原子、卤原子、或任选具有取代基的碳原子数1～6的烷基，R1表示具有内酯骨架的基团，Y表示碳原子数1～6的2价有机基团)。

主权项

1.一种包含内酯骨架的单体，该单体以下述式(1)表示：式中，R^a表示氢原子、卤原子或任选具有取代基的碳原子数1～6的烷基，R¹表示具有内酯骨架的基团，且该单体中的所述CH₂＝C(R^a)-COOY-COO-基直接键合在五元环的内酯环上，在构成所述内酯环的1个碳原子上键合有2个烷基，Y表示亚甲基。