一种薄膜层及其制作方法、显示用基板、液晶显示器

摘要

本发明提供一种薄膜层及其制作方法、显示用基板、液晶显示器，属于显示器技术领域，其可解决现有方法制得的薄膜层边缘坡度过陡甚至垂直，导致下一步沉积的薄膜层容易产生台阶覆盖不良甚至断线的问题。本发明的薄膜层包括多个不同致密度的子层，其中，在上的子层的致密度小于在下的子层的致密度。采用本发明的薄膜层制备的薄膜晶体管和薄膜晶体管液晶显示器的良品率高、可靠性高。

主权项

一种薄膜层，其特征在于，所述的薄膜层包括多个不同致密度的子层，其中，在上的子层的致密度小于在下的子层的致密度。