| 摘要 |
本实用新型提供的一种晶圆注入系统监测装置，在晶圆加工过程中装设有一个注入系统，由一个液体流量计、一个导入阀及一个控制模组所组成，液体流量计控制对导入阀特殊液体或气体的供给量，该导入阀则可控制特殊或气体的汽化量。注入系统更装设有一个监测装置，由一个接收器及一个监视幕所组成，该接收器可经由监测而接收导入阀的电压信号，以及经由监测而接收液体流量计的表面温度信号，并经运算后在监视幕上将导入阀的电压大小及液体流量计的表面温度高低即时显示出，到时操作者可经由控制模组调整该液体流量计对导入阀特殊液体或气体的通入量及导入阀的汽化能力。如此可提高晶圆的制造品质，延长注入系统的使用寿命。 |
